目前,微电子机械系统的应用很大程度上受限于材料的物理性能,如硅基限制器件职能工作200度的低磨损环境和良好的化学 环境中。因此,需要寻找可替换的材料来拓展微电子机械系统在恶劣环境下的应用。这种替代材料必须使具有不活泼的化学性能、高硬度、低温度敏感、可微机械加工的半导体材料。碳化硅厂家所生产的制品完全符合这些要求。
一般而言,宽禁带的半导体材料包括碳化硅和金刚石,都具有恶劣环境下的应用所要求的电学、机械和化学特性,但是缺少相关的加工工艺,碳化硅厂家正是在这种迫切的市场要求下诞生的。可将碳化硅加工制作成各种市场和顾客需求的产品,保证其优秀的化学环境。 |